1.定位精度高

使用直線導軌作為線性導引時，由于直線導軌的摩擦方式為滾動摩擦，不僅摩擦系數降低至滑動導引的1/50，動摩擦力與靜摩擦力的差距亦變得很小。因此當床臺運行時，不會有打滑的現象發生，可達到μm級的定位精度。

2.磨耗少能長時間維持精度

傳統的滑動導引，無可避免的會因油膩逆流作用造成平臺運動精度不良，且因運動時潤滑不充分，導致運行軌道接觸面的磨損，嚴重影響精度。而滾動導引的磨耗非常小，故機臺能長時間維持精度。